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氨氣多應用于晶圓清洗、在CVD過程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜。液氨廣泛地應用于半導體工業、冶金工業，以及需要保護氣氛的其他工業和科學研究中。
高純氨氣的應用：
合成氨氣用于制造氮肥等化工原料
工業氨氣用于氨分解制氮氫混合氣體
液氨用于電廠等工廠氨制冷系統的制冷劑（R717）
液氨用于有機合成
高純氨氣用于LED電子行業的氮源
高純氨氣跟硅烷、高純氬氣用于薄膜太陽能電池制造
高純氨氣注意事項
高純氨氣是強腐蝕性有毒物質，對皮膚和眼睛有強烈腐蝕作用，產生嚴重疼痛性灼傷。高純氨蒸氣強烈刺激呼吸道粘膜和眼睛，對呼吸有窒息作用。受高純氨損傷的皮膚應立即用清水沖洗，然后以3%～5%的硼酸、乙酸或檸檬酸溶液濕敷。嚴重時應立即請醫生處理。
高純氨氣吸入人體，少部分為二氧化碳說中和，余下的進入血液，主要與血紅蛋白結合，破壞血液運氧功能。短期內吸入大量氨氣后會出現流淚、咽痛、咳嗽、胸悶、呼吸困難、頭暈、嘔吐、乏力等。若吸入的高純氨過多，導致血液中氨濃度過高，就會通過三叉神經末梢的反射作用而引起心臟的停搏和呼吸停止，危及生命。
使用高純氨氣前，應給氨氣管道進行氮氣試壓、氦氣保壓及肥皂水試漏，確保氨氣管道不泄露。工作環境保持通風。需要有2人同時操作，以應對突發狀況。
氨氣鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗時間，不符合要求的鋼瓶應委托譜源氣體等經銷商到有資質的壓力容器檢驗單位進行檢驗。嚴禁使用過去鋼瓶。
